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1.酸性廢氣處理措施。
酸性廢氣主要來(lái)源于工藝流程中使用各種酸液蝕刻、清洗過(guò)程,其主要污染物為氯化氫、氮氧化物等,可以通過(guò)設(shè)置NaOH堿液噴淋塔吸收系統(tǒng)進(jìn)行處理,處理裝置對(duì)污染物的去除率大于95%,噴淋液為NaOH水溶液。酸廢氣噴淋洗滌塔的噴林液溶液循環(huán)使用,并定期排放至廢水處理站,廢水經(jīng)處理后再排放。根據(jù)噴淋塔循環(huán)液的pH值補(bǔ)充NaOH溶液。
2.堿性廢氣處理措施。
堿性廢氣主要來(lái)源于光刻工序中使用四甲基氫氧化胺(TMAH)揮發(fā),主要污染物為T(mén)MAH。堿性廢氣通過(guò)酸液噴淋吸收系統(tǒng)(吸收液為H2SO4水溶液)進(jìn)行處理。堿廢氣噴淋洗滌塔的溶液循環(huán)使用,并定期排放至廢水處理站,廢水經(jīng)處理后再排放。
堿性廢氣處理設(shè)備對(duì)污染物的去除效率大于95%。H2SO4供液裝置通過(guò)雙層管道供至酸液噴淋塔H2SO4供液泵系統(tǒng)。根據(jù)噴淋塔循環(huán)液的pH值補(bǔ)充H2SO4。
3.有毒廢氣處理措施。
有害廢氣(CVD)的處理設(shè)備,其凈化效率大于95%,噴淋液為NaOH水溶液。NaOH供液裝置通過(guò)雙層管道供至堿液噴淋塔NaOH供液泵系統(tǒng),并根據(jù)噴淋塔循環(huán)液的pH值補(bǔ)充NaOH。有害廢氣(CVD)噴淋洗滌塔的堿溶液循環(huán)使用,并定期排放,全部納入廢水處理站含氟廢水處理系統(tǒng)處理后再排放。
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